产品目录

联系我们

  • 电话:
  • 手机:
  • 地址:

手机访问

SEM 全自动样品制备系统

Agar Scientific 是Fischione 仪器在英国及爱尔兰的独家分销商,近日,Agar 宣布名为ASaP 的全自动样品制备系统Model 1030已推出上市。


??? 左图为机械研磨后铜基的氧化截面,右图为左图样品经等离子清洗,反应粒子蚀刻机离子束喷溅镀膜处理后 样品图像。

??? Model 1030 ASaP 系统对已经过切割,打磨,及切片的样品进行加工,经过处理后的样品的成像质量更高,适合于扫描电镜(SEM)的分析观察。ASaP 为全编程自动化系统,能够适应高通量的样品制备要求。

??? 将样品放入加工室中,ASaP 对样品进行四步加工:等离子体清除(plasma cleaning,PC),在这一步中会去除样品上的有机物污染;离子束腐蚀(ion beam etching,IBE),这一步去除表面的污渍划痕等缺陷,样品表面会更平整;反应粒子刻蚀(reactive ion etching,RIE),这是一个化学特异性的处理过程,强化了样品成分的选择性刻蚀;最后是离子束溅射镀膜(ion beam sputter coating,IBSC),用来消除电荷的干扰。

??? 随着成像以及FESEM低压操作系统的改进,半导体及纳米领域中的特征尺寸逐渐降低。同时,现在的材料具有更小更精细的微结构。从这些方面考虑,人们将更多的精力放在了样品表面的质量上,并追求更高的成像质量。

??? 样品在制作过程中的切割,机械研磨,聚焦离子束(focused ion beam,FIB)切割等过程都会破坏样品的微结构。切割生成的表面通常都不太规则,并且会生成多个层面。机械抛光会在样品表面形成微米级的划痕,或者次级表面的损伤,对于柔软的样品,例如铜来说,会形成污染模糊边界,形成缝隙及夹杂物。聚焦电子束是切割电子显微镜样品的一个有力的武器,然而,高能量的金属离子会造成辐射损伤。用ASaP 制备好的样品则可直接用于高级FESEM 分析。

?
日本五月五开心情色,一本到99手机在线观看,2017一本道dvd手机版,天天影视色欲综合网,天天亚州色射综合网